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为半导体洁净室保驾护航的 TurMass™ 空气粒子激光计数器




网投比较靠谱的大平台海天智能物联网实验室研发团队完成了TurMass™ 四级中继的通信测试。同时实验室在系统中首次接入了与江苏耀群科技股份有限公司共同研发,基于TurMass™ 协议的9003-T 空气粒子激光传感器,为半导体材料的无尘车间的环境监测提供了一种全新的选择。


空气粒子激光计数器 — 拯救半导体生产制造良率的“使者”


随着现代技术的发展,电子半导体工业被誉为科技发展的基石,芯片虽小,却是信息产业的“智慧大脑”,也是构筑大国竞争力的核心产品之一。在芯片的生产制造环境中,由于需要在纳米级别尺度生产和加工集成电路,对空气环境的洁净度要求非常高,极其微小的悬浮粒子污染就会严重影响产品的质量,即使是仅有10nm的微小粒子(也叫纳米粒子),也会大大降低产品的生产出品良率。



空气粒子激光计数器也因此成为了半导体洁净室的守护者,其作用远超过简单的颗粒物计数,它不仅仅是一台检测设备,更是半导体生产中的关键仪器。其敏锐的激光技术和实时监测功能,确保了洁净室中微粒的及时掌控。从生产线入口到关键设备周围,这些计数器无所不在,默默地守护着产品的品质。洁净室管理者将其视为不可或缺的利器,它们通过持续监测颗粒物的数量和大小,预防了可能的污染风险。这种即时的响应和控制,使得半导体生产能够在洁净、高效的环境中不断推进,为高品质产品的制造保驾护航。空气粒子激光计数器不只是科技的杰作,更是半导体工业的守护者,无声地承担着保障产品品质的使命。在洁净室的微粒世界里,它们是光的使者,为高质量产品的诞生贡献着无可替代的价值。


系统组成部分

如组网示意图所示,此次系统方案主要设备包括:9003-T空气粒子激光传感器、HuwellDTUTKR-100无线中继器以及TKG-300双通道网关。系统中传感器连接DTU组成数据采集端,后经四级中继传输至网关,最终实现远距离无线传输。

组网示意图


9003-T 空气粒子激光传感器适用于ISO 14644-1 69级的环境,内部动力将环境空气吸入颗粒传感器,显示并储存五个信道的颗粒计数数据。粒径通道为0.3μm0.5μm1.0μm3.0μm5.0μm。五个信道中每个信道的颗粒计数数据均以每升计数显示。颗粒计数数据以原始和标准化(计数/ L)形式存储在Modbus 寄存器中。用户可以在洁净室的不同位置安装多台仪器,以监测空气质量。计数数据可以通过适用的通信协议发送到用户提供的中央监控软件。中央监控软件可用于远程操作仪器。

9003-T空气粒子激光传感器


如下图传感器接口示意图,9003-T空气粒子激光传感器支持RS485输出方式,由于传感器支持TurMass™ 协议,HuwellDTU 支持RS485 接口,因此传感器可直连DTU 组成数据采集端以接入系统。

9003-T传感器接口示意图


系统测试结果

此次采用测试重点是9003-T空气粒子激光传感器与无线通信系统的联调,系统接入传感器后,经通讯设定后,首先通过Modbus-Poll 调试软件测试数据采集成功。

Modbus-Poll数据显示


又经查看 MassView 界面终端收发数据区域中数据的接收情况,经调试9003-T 空气粒子激光传感器成功将数据传输至网关,网关也成功接收到相关数据。

9003-T传感器数据


此次测试完成了TurMass™四级中继系统与9003-T空气粒子激光传感器,实现了传感器与TurMass™无线通信系统的联动,同时探讨了粒子传感器在半导体生产环境监测中的价值,为高质量产品的诞生贡献着无可替代的价值。








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